Вакуумная система для установки PVD-напыления
Под заказ
Цена по запросу
в корзине
Описание
Вакуумная система для установок физического осаждения покрытий из паровой фазы (PVD). Создаёт и поддерживает высокий вакуум в камере напыления, необходимый для нанесения тонких плёнок. Применяется в декоративных и функциональных покрытиях по металлу, стеклу и пластику.
Технические характеристики
| Модель | CJHL-800 | CJHL-1000 | CJHL-1200 | CJHL-1400 | CJHL-1600 | CJHL-1800 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Pumping speed | It will take less than 10 minutes from air pump to 9*10-3Pa | |||||
| Ultimate vacuum | 6*10-4Pa | |||||
| pressure rising rate | 0.67Pa/h | |||||
| ion | Ф100 ion source ，6—–20 Sets | |||||
| Ion source | 5KW，45—-160A, 6—–20 Sets | |||||
| target | Cylindrical or planar targets 1—-12 PCS | |||||
| Target power source | 10—–60KW DC or Mid-frequency 1-12sets | |||||
| bias voltage | 10–15KW | 20KW | 30KW | 40KW | 40–50KW | 60KW |
| pump | Diffusion pump or molecular pump | |||||
| heating | 9KW | 12KW | 15KW | 18KW | 24KW | 36KW |
| Work frame | It can be customized designed，public rotation，rotation speed can be controlled | |||||
| gas | Precision meter control 1-4 road work gas | |||||
| Control mode | Manual, semi-automatic and fully automatic control; Control panel use Chinese and English language |