Магниторазрядный (ионно-распылительный) насос серии EVP

Магниторазрядный (ионно-распылительный) насос серии EVP

Под заказ
Цена по запросу
в корзине

Описание

Ионно-распылительный насос серии EVP удаляет остаточные газы за счёт ионизации и распыления геттерного материала, работая полностью без движущихся частей и рабочих жидкостей. Обеспечивает сверхвысокий и предельно высокий вакуум с высокой чистотой среды. Применяется в ускорителях, электронных приборах, установках поверхностного анализа и научных вакуумных системах.

Технические характеристики

НаименованиеТехнические характеристики
ModelSIP10SIP25SIP50SIP100
Nominal Capacity(l/s)S-ASDN2 15 (at1x10-5pa)35 (at1x10-5pa)80(at1x10-5pa)140(at1x10-5pa)
N2 12 (at1x10-7pa)30(at1x10-7pa)70(at1x10-7pa)120(at1x10-7pa)
Ar   3 (at1x10-7pa)10 (at1x10-7pa)25(at1x10-7pa)48(at1x10-7pa)
U-ASLN2 15 (at1x10-5pa)32(at1x10-5pa)75 (at1x10-5pa)130 (at 1×10-5pa)
N2 11 (at1x10-7pa)30(at1x10-7pa)65(at1x10-7pa)120 (at 1×10-7pa)
Ar  15 (at 1×10-7pa)15 (at1x10-7pa)35(at1x10-7pa)65(at1x10-7pa)
Ultimate  PressureS-ASD≤ 5X10-8pa≤ 2X10-8pa≤ 5X10-9pa≤ 3X10-9pa
U-ASL≤ 3X10-8pa≤ 1X10-8pa≤ 2X10-9pa≤ 1X10- 10pa
Starting pressure≤ 1X10-2pa≤ 1X10-2pa≤ 2X10-2pa≤ 2X10-2pa
Anode voltage(kv)≤+7(dv)≤+7(dv)≤+7(dv)≤+7(dv)
Connecting flangeCF35CF35CF63/CF100CF100
Noise<55dB<65dB<65dB<68dB
Baking temperature℃≤300≤300≤300≤300
Built-in baking power0.08(optional)0.18(optional)0.20.28
Dimension (LXWXH)mm130x150x110173x134x210244x162x234309x162x315
Weight10Kg14Kg25Kg38Kg