Криогенный насос серии ECP
Под заказ
Цена по запросу
в корзине
Описание
Криогенный насос серии ECP улавливает газы за счёт их вымораживания на охлаждаемых до сверхнизких температур поверхностях, обеспечивая чистый высокий и сверхвысокий вакуум без масла. В комплект поставки входят насос, компрессор, контроллер температуры, гелиевая магистраль (3 м) и линия привода. Применяется в напылении, полупроводниковой промышленности и научных установках.
Технические характеристики
| Модель | ECP160 | ECP200 | ECP250 | ECP300 | ECP400 | ECP500 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| F low R ate (L/s) | N2 | 1,000 | 1,700 | 2,500 | 4,000 | 5,500 | 10,000 |
| H2 | 1,700 | 2,700 | 3,600 | 5,000 | 10,000 | 18,000 | |
| Ar | 620 | 1,400 | 2,000 | 3,500 | 4,200 | 8,400 | |
| H2O | 25,50 | 4,000 | 6,900 | 9,500 | 16,000 | 29,000 | |
| Ultimate Vacuum ( Pa) | 1×10-7 | 1×10-7 | 1×10-7 | 1×10-7 | 1×10-7 | 1×10-7 | |
| Maximum Throughput (P a ·L/s ) | Ar | 1.2×103 | 1.2×10^3 | 1.2×10^3 | 2×10^3 | 1.4×10^3 | 1. 1×10^3 |
| Pumping Capacity (Pa ·L) | Ar | 5.6×10^ 7 | 1.0×10^ 8 | 1.0×10^8 | 2. 1×10^8 | 4.3×10^8 | 5.8×10^8 |
| H2 | 8.0×104 | 1.0×10^5 | 6.7×10^5 | 1.0×10^6 | 2.4×10^6 | 4.6×10^6 | |
| Cool down Time (min) | ≤80 | ≤110 | ≤120 | ≤90 | ≤120 | ≤150 | |
| Mounting Flange (customized according to user requirements) | ANSI / ISO / UVG | ||||||
| Weight of Cryopump (KG) | 25 | 33 | 37 | 48 | 75 | 86 | |
| Match Compressor model | HC50W | HC50W | HC80W | HC80W | HC80W | HC100W |